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原文传递基板检查装置

专利名称：	基板检查装置
摘要：	本发明提供一种基板检查装置，包括：侧壁，所述侧壁包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；两组支架，所述支架设置于所述第一侧壁和所述第二侧壁之间，所述支架包括一托盘和支撑部，所述托盘与所述支撑部连接，所述托盘在竖直方向上转动，用以承载待测基板；两组上光源，分别设置于两组所述支架的上方；两个入料口，设置于所述第一侧壁上，分别与两个所述托盘对应设置；数组加湿器，间隔设置于所述支架的上方；检查口，设置于所述第二侧壁上，包括可开闭的透明门；操作台，靠近所述检查口。有益效果：提高了基板检查的速度和准确性，另外也提升了检查装置内部的洁净度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉华星光电技术有限公司
发明人：	施杰
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810819164.5
公开号：	CN108956641A
代理机构：	深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300
代理人：	黄威
分类号：	G01N21/956(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/956;G01N21/01
申请人地址：	430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
主权项：	1.一种基板检查装置，其特征在于，包括：侧壁，所述侧壁包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；两组支架，所述支架设置于所述第一侧壁和所述第二侧壁之间，所述支架包括一托盘和支撑部，所述托盘与所述支撑部连接，所述托盘在竖直方向上转动，用以承载待测基板；两组上光源，分别设置于两组所述支架的上方；两个入料口，设置于所述第一侧壁上，分别与两个所述托盘对应设置；至少一加湿器，设置于所述支架的上方；检查口，设置于所述第二侧壁上，包括可开闭的透明门；操作台，靠近所述检查口。
所属类别：	发明专利