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原文传递基板搬运系统

专利名称：	基板搬运系统
摘要：	一种基板搬运系统，配置2台(图中为(1A、1B))从盒(11)将基板(10)搬出的基板输出装置(1)，并配置有承接从各输出装置(1A、1B)输出的基板(10)并将基板位置滑移至流程装置(40)的中心的移动式基板搬运传送器(2)。而且，由移动式基板搬运传送器(2)承接基板(10)，并在流程装置(40)的前面配置对搬运高度进行升降的升降式基板搬运传送器(4)以及从升降式基板搬运传送器(4)承接基板(10)并向流程装置(40)供给基板(10)的双层结构的带升降功能的双层升降式基板搬运传送器(5)。本发明可满足流
专利类型：	发明专利
申请人：	三菱电机株式会社
发明人：	堀卓司
专利状态：	有效
申请日期：	2003-09-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03159314.3
公开号：	CN1532128
代理机构：	上海专利商标事务所
代理人：	谢喜堂
分类号：	B65G49/06
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利