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基片装取片台以及包含这种装取片台的基片镀膜设备
| 专利名称： | 基片装取片台以及包含这种装取片台的基片镀膜设备 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种基片装取片台以及包含有该装取片台的镀膜设备，装 取片台包括包含一支撑架以及相对于支撑架转动的托盘。装取片台可以作为单 独的部件安装在镀膜设备上，也可以与镀膜设备一体制成：支撑架为镀膜设备 工作平台的一部分或托盘为镀膜设备工作平台的一部分。本实用新型能够实现 快速装取片，而且能防止基片从载片架上滑落，减少了碎片和划伤基片表面现 象的发生。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 深圳深爱半导体有限公司 |
| 发明人： | 叶宗桂;周 超 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-03-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200820092599.6 |
| 公开号： | CN201207385 |
| 代理机构： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 郑小粤 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼 |
| 主权项： | 1. 一种基片装取片台，其特征在于：包含一支撑架以及相对于所述支撑架 转动的托盘。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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