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原文传递一种基片装夹装置

专利名称：	一种基片装夹装置
摘要：	本实用新型公开了一种基片装夹装置，包括：设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；与所述基座轴连接的压片，且所述压片用于将基片压装在所述载板上；设置在载板的远离基座的一侧的驱动机构，压片处的载板上设置有通孔，所述驱动机构穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转；阻挡件，所述阻挡件位于所述基片与所述通孔之间，且所述阻挡件设置在所述压片与所述载板之间。本实用新型提供的基片装夹装置，通过在基片与通孔之间设置阻挡件，且阻挡件位于压片与所述载板之间，从而实现对溅射材料从通孔到达基片侧围通道的阻断，避免溅射材料通过通孔绕镀到基片周侧；本实用新型结构简单，应用方便。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京创昱科技有限公司
发明人：	刘旭
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820285583.0
公开号：	CN208054442U
代理机构：	北京维澳专利代理有限公司 11252
代理人：	周放;张应
分类号：	B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49;B65G49/06
申请人地址：	102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
主权项：	1.一种基片装夹装置，所述基片装夹装置包括：设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；与所述基座轴连接的压片，且所述压片用于将基片压装在所述载板上；设置在载板的远离基座的一侧的驱动机构，压片处的载板上设置有通孔，所述驱动机构穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转；其特征在于，所述基片装夹装置还包括：阻挡件，所述阻挡件位于所述基片与所述通孔之间，且所述阻挡件设置在所述压片与所述载板之间。
所属类别：	实用新型