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原文传递衬底输送装置

专利名称：	衬底输送装置
摘要：	本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3) 浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
专利类型：	发明专利
申请人：	奥林巴斯株式会社
发明人：	安田守;藤崎畅夫
专利状态：	有效
申请日期：	2003-04-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810178322.X
公开号：	CN101412472
代理机构：	永新专利商标代理有限公司
代理人：	黄剑锋
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1、一种衬底输送装置，输送平板显示器制造工艺中所制造的衬底，其特征在于，包括：衬底浮起块，形成有空气孔，该空气孔吹出使上述衬底浮起的空气；衬底输送单元，配置成相对于上述衬底浮起块可沿上述衬底的输送方向移动，吸附保持由上述衬底浮起块浮起了的上述衬底的背面并向上述衬底的输送方向输送。输送机器人，设置在上述衬底浮起块的搬入侧或搬出侧，并且具有多个保持上述衬底的手臂；以及槽，在上述衬底浮起块的上述搬入侧或搬出侧，以规定的间隔形成有多个，并且可插入上述手臂，上述输送机器人使上述多个手臂插入到上述多个槽，从而进行在上述衬底浮起块上的上述衬底的交接。
所属类别：	发明专利