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在水平和垂直方向输送衬底的装置
| 专利名称： | 在水平和垂直方向输送衬底的装置 |
| 摘要： | 一种衬底输送装置包括：一个框架；一个用于通过将衬底定位在精确位置、防止衬底下垂、和旋转衬底而在水平方向上输送衬底的水平输送部分，水平输送部分安装在框架上；用于从/向水平输送装置接收/输送衬底和向/从衬底处理线输送/接收衬底的垂直输送装置；一个设置在垂直输送装置和衬底处理线之间以从/向垂直输送装置接收/输送衬底的输送单元。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 发明人： | 朴庸硕;金京喆;孙台峰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-06-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410048124.3 |
| 公开号： | CN1576199 |
| 代理机构： | 北京德琦知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 分类号： | B65G49/06 |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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