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衬底输送装置
| 专利名称： | 衬底输送装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 发明人： | 安田守;藤崎畅夫 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-04-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN03808707.3 |
| 公开号： | CN1646400 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 黄剑锋 |
| 分类号： | B65G49/06 |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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