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原文传递吸附保持装置以及吸附保持方法

专利名称：	吸附保持装置以及吸附保持方法
摘要：	本发明提供一种吸附保持装置以及吸附保持方法，可以通过简单且廉价的结构，不论基板的种类而可靠地吸附保持。具有：吸附片(2)，具有吸附面(21)；升降机构，使玻璃基板(P1)和吸附片(2)的相对位置变化；温度变更部(5)，改变吸附面(21)的温度；以及控制装置(100)，控制温度变更部(5)，以在使玻璃基板(P1)向吸附面(21)吸附时，在吸附面(21)结露。将吸附面(21)冷却至露点温度以下，使用所结露的水分吸附玻璃基板(P1)，向对置基板 (P2)贴合。
专利类型：	发明专利
申请人：	芝浦机械电子装置股份有限公司
发明人：	横田典之
专利状态：	有效
申请日期：	2007-06-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780026749.1
公开号：	CN101490835
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	曲瑞
分类号：	H01L21/683(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川
主权项：	1. 一种吸附保持基板的吸附保持装置，其特征在于，具有：吸附单元，具有吸附面；驱动单元，使上述基板和上述吸附单元的相对位置变化；温度变更单元，改变上述吸附面的温度；以及控制单元，控制上述温度变更单元，以在使上述基板吸附到上述吸附面时，在上述吸附面结露。
所属类别：	发明专利