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原文传递平表面的空气支承组件

专利名称：	平表面的空气支承组件
摘要：	一种空气支承组件包括：具有多个穿过其的空气供给和真空孔的上部；下部；以及多个间隔件，这些间隔件位于上部和下部之间，使上部和下部保持间隔开的关系，其中，空气供给和真空孔的密度足够高以提供对基底的空气支承，但密度足够低以达到以下两种情况中的至少一种：(i)可使用足够数量的间隔件，以及(ii)间隔件足够靠近地定位，以使上部相对于下部保持基本上均匀的平面度。
专利类型：	发明专利
申请人：	康宁股份有限公司
发明人：	D·E·布拉克利;D·L·德鲁门;P·J·姆卡蒂
专利状态：	有效
申请日期：	2007-11-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780042666.1
公开号：	CN101541653
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司
代理人：	顾峻峰
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	美国纽约州
主权项：	1.一种空气支承组件，包括：上部，所述上部具有多个穿过其的空气供给和真空孔；下部；以及多个间隔件，所述间隔件设置在所述上部和下部之间，并使所述上部和下部保持间隔开的关系，其中，所述空气供给和真空孔的密度足够高以提供对基底的空气支承，但所述密度还足够低以达到以下情况中的至少一种：(i)使用足够数量的所述间隔件，以及(ii)所述间隔件足够靠近地定位，以使所述上部相对于所述下部保持基本上均匀的平面度。
所属类别：	发明专利