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原文传递移栽容器的遮蔽式入出气结构

专利名称：	移栽容器的遮蔽式入出气结构
摘要：	本发明是有关一种移载容器的遮蔽式入出气结构，该移载容器，包含相对盖合的一底座与一壳罩，底座顶面设有一由两承托件与一抵持件组成的门型支撑体，以支撑光置；该入出气结构，在底座上设有至少两个可选择性产生气密作用的入出气元件，设于中空承件件范围内，使移载容器置在对应装置时，可通过设于装置上的对应启闭元件选择性开启移载容器的两入出气元件，而对密合移转容器内部注入干净气体，并将移转容器内部气体导出，使气体可在移转容器内部形成进、出循环流动状态，能长时间维持移转容器内部环境洁净度，同时由于入出气结构是设置于承托件下方，可避免气流直接冲击光掩膜表面，不致发生伤害光掩膜表面的现象，而可以提升洁净度，并且能避免伤害光掩膜。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	台湾;TW
申请人：	亿尚精密工业股份有限公司
发明人：	陈俐殷;卢诗文;蔡铭贵
专利状态：	有效
申请日期：	2008-06-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810125203.8
公开号：	CN101609260
代理机构：	北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人：	寿宁;张华辉
分类号：	G03F7/20(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾高雄县
主权项：	1、一种移载容器的遮蔽式入出气结构，该移载容器是用于容置一光掩膜，其特征在于其包含有：一底座，其顶面设有由两承托件与一抵持件围绕形成的支撑体，供支撑光掩膜及光掩膜侧边贴靠，其中承托件底面形成有一中空的回气空间，两承托件相异的外侧分别形成有复数连通内部与外部的通气孔；一壳罩，其供选择性相对前述底座盖合与开启，该壳罩可盖合于底座上形成一容置光掩膜的容置空间；至少两入出气元件，其设置于前述底座上，该两入出气元件并设置于底座两承托件的下方，且与承托件回气空间相连通；藉此，当移载容器置于一装置时，可通过装置上相对入出气元件的启闭元件，选择性同时开启入出气元件，令气体可注入与排出移载容器，而利用两入出气元件可使气体经由回气空间注入或排出移载容器的设计，使得气流可沿光掩膜上、下表面水平流动，而组构成一气流不致损及光掩膜图形、且可长时间保持洁净度的移载容器的遮蔽式入出气结构。
所属类别：	发明专利