专利名称: | 移栽容器的气阀结构 |
摘要: | 本发明是有关一种移载容器的气阀结构,该供储存晶圆或光掩膜的移 载容器具有可选择性启闭的容置空间,移载容器上设有一个或多数气阀,移 载容器供摆置于对应承载装置上,承载装置设有对应移载容器气阀的进排 气阀件,气阀具有中空阀体,内部中段设有具较小通孔的隔片,内部隔片两 侧分别形成第一槽孔与第二槽孔;阀体内滑设一浮动杆,两端分别设有较大 径抵顶部与较小径颈部;浮动杆颈部穿经一弹簧后由阀体第一槽孔经隔片 进入第二槽孔,颈部套设密封垫圈,使浮动杆通过弹簧让密封垫圈可选择性 启闭阀体的隔片。藉由阀体内可相对隔片远离或贴靠的浮动杆使移载容器 可通过气阀选择性密闭或进排气,而能长时间维持移转容器内部容置空间 洁净度,并可增进气、排气便利性。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 台湾;TW |
申请人: | 亿尚精密工业股份有限公司 |
发明人: | 陈俐殷;汪欣聪 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-06-16T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200810099799.9 |
公开号: | CN101609784 |
代理机构: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 寿 宁;张华辉 |
分类号: | H01L21/00(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾高雄县 |
主权项: | 1、一种移载容器的气阀结构,其特征在于该供储存晶圆或光掩膜的移 载容器具有可选择性启闭的容置空间,又该移载容器上设有一个或多数的 气阀,而移载容器可供摆置于对应的承载装置上,且该承载装置上设有对应 移载容器气阀的进排气阀件,其中: 该气阀,具有一中空的阀体,且阀体内部中段形成设有一具有较小通 孔的隔片,又阀体内部在隔片两侧分别形成一第一槽孔与一第二槽孔; 再者该阀体内滑设有一浮动杆,该浮动杆的两端分别形成设有一较大 径的抵顶部与一较小径的颈部; 该浮动杆的颈部可穿经一弹簧后,由阀体第一槽孔经隔片进入第二槽 孔,并在该颈部上套设有一密封垫圈,使浮动杆可通过弹簧让密封垫圈可选 择性启闭阀体的隔片。 |
所属类别: | 发明专利 |