详情

原文传递应用于移栽容器的稳压系统

专利名称：	应用于移栽容器的稳压系统
摘要：	本发明是有关一种应用于移载容器的稳压系统，包含一装置及至少一设于装置上的移转容器；该装置上设有至少一连接进气回路的进气阀件及至少一连接排气回路的稳压阀件，该移转容器具有对应装置进气阀件与稳压阀件的气阀，稳压阀件上具有连通移载容器内部空间的流道孔，且流道孔可同步连接移载容器外部空间，使得装置在通过稳压阀件排出移载容器内部气体时，可防止移载容器内部空间因排气量大于进气量而产生负压影响移载容器开启，并能避免因负压开启时产生强力瞬间进气流动而伤及移载容器内部物件表面。本发明可让移载容器在充填气过程中内外部气压保持平衡，避免影响移载容器开启；另可防止移载容器开启时产生瞬间强力气流，而能保护晶圆或光掩膜表面及洁净度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	台湾;TW
申请人：	亿尚精密工业股份有限公司
发明人：	陈俐殷;蔡铭贵;黄柏凯
专利状态：	有效
申请日期：	2008-06-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810099800.8
公开号：	CN101609257
代理机构：	北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人：	寿宁;张华辉
分类号：	G03F7/20(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾高雄县
主权项：	1、一种应用于移载容器的稳压系统，其特征在于其包含：一装置，其具有至少一进气回路与至少一排气回路，该装置具有至少一摆置单元，该摆置单元上设有至少一连接进气回路的进气阀件与至少一连接排气回路的稳压阀件，其中稳压阀件具有一个或多数流道孔；至少一移转容器，其具有一可选择性启闭的容置空间，且移转容器上设有复数连通容置空间与外部环境的气阀，不同气阀并可同时串接前述装置的进气阀件与稳压阀件，其中对应稳压阀件的气阀是跨设于流道孔上，使得稳压阀件可同步吸排移载容器容置空间与外部环境的气体。
所属类别：	发明专利