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载气系统以及基片载物台到装载埠的联接
| 专利名称： | 载气系统以及基片载物台到装载埠的联接 |
| 摘要： | 对基片载物台加压的方法包含对一种腔室加压以及通过从腔室向 载物台释放气体在载物台内维持一种压力的方法。这种腔室与载物台 以及/或者载物台内的基片晶舟是一个单位构造。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 发明人： | F·威廉;B·丹尼尔 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-09-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780041428.9 |
| 公开号： | CN101600637 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 温大鹏 |
| 分类号： | B65H1/24(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国马萨诸塞州 |
| 主权项： | 1.向基片载物台加压的一种方法： 包含： 向一种腔室加压，该腔室与载物台以及/或者载物台内的晶舟是一 个单位构造；以及 通过从腔室中释放气体到载物台维持此载物台内的压力水平。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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