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原文传递用于输送基片载架的系统

专利名称：	用于输送基片载架的系统
摘要：	在一半导体制造设备中，一输送机输送基片载架。在不停止输送机的情况下，将基片载架从输送机卸载或装载到输送机上。在卸载操作期间，装载和/或卸载机构从输送机升起基片载架，同时匹配输送机的速度。相似地，在装载操作期间，装载/卸载机构使基片载架降低。与输送机进入配合，同时匹配输送机的水平速度。单独的基片，没有载架，也同样可以装载进入输送机和/或从输送机中卸载。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料有限公司
发明人：	迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·哈得根斯;;埃里克·A·恩格尔哈德;;罗伯特·B·洛朗斯;马丁·R·埃利奥特
专利状态：	有效
申请日期：	2003-08-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03132695.1
公开号：	CN1495118
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	刘志平
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	美国加利福尼亚
所属类别：	发明专利