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柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统
| 专利名称： | 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统 |
| 摘要： | 一种柔性铰链位移台耦合振动位移主动补偿系统，其耦合振动控制器(1)分析柔 性铰链位移台Y和Z方向的耦合振动幅值，发出抑制Y方向和Z方向振动的指令。Y耦 合振动检测装置(2)和Z耦合振动检测装置(3)检测在Y和Z方向产生的耦合振动幅 值。行扫信号发生模块(4)、帧扫信号补偿模块(5)和高度动态补偿模块(6)分别 产生X方向、Y方向和Z方向特定频率和幅值的波形信号。帧扫高压放大模块(7)产生 柔性铰链Y方向运动的驱动信号；行扫高压放大模块(8)产生柔性铰链X方向运动的 驱动信号；Z向高压放大模块(9)产生柔性铰链Z方向运动的驱动信号；柔性铰链位移 台(10)实现行扫和帧扫的位移动作。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中国科学院电工研究所 |
| 发明人： | 殷伯华;韩 立;陈代谢;林云生 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910084022.X |
| 公开号： | CN101551318 |
| 代理机构： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 关 玲;贾玉忠 |
| 分类号： | G01N13/10(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100080北京市海淀区中关村北二条6号 |
| 主权项： | 1、一种柔性铰链位移台耦合振动位移补偿系统，其特征在于所述补偿系统由耦合振 动控制器(1)、Y耦合振动检测模块(2)、Z耦合振动检测模块(3)、行扫信号发生 模块(4)、帧扫补偿模块(5)、高度动态补偿模块(6)、帧扫高压放大模块(7)、 行扫高压放大模块(8)、Z向高压放大模块(9)和柔性铰链位移台(10)组成；所述 的Y耦合振动检测模块(2)和Z耦合振动检测模块(3)用于检测由于柔性铰链位移台 X方向高速往复运动，在Y方向和Z方向产生的耦合振动位移；其中的行扫信号发生模 块(4)、帧扫补偿模块(5)、高度动态补偿模块(6)、帧扫高压放大模块(7)、行 扫高压放大模块(8)和Z向高压放大模块(9)负责实现补偿耦合振动所需的驱动波形 信号。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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