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应用于LED激光切割设备的同轴影像系统
| 专利名称： | 应用于LED激光切割设备的同轴影像系统 |
| 摘要： | 本发明涉及应用于LED激光切割设备的同轴影像系统应，包括同轴 LED点光源模组、45度全反镜、广角CCD模组、第一45度分光镜、小视 野高倍率上CCD模组、第二45度分光镜、波长选择镜、LED环形光源、 聚焦镜、小视野高倍率下CCD模组，同轴LED点光源模组、广角CCD模 组和小视野高倍率上CCD模组三者自上而下并排排布，波长选择镜安装在 上CCD模组与聚焦镜之间，LED环形光源紧贴在聚焦镜上，聚焦镜正对于 工件，在工件的下方安装小视野高倍率下CCD模组。本发明实现在LED 激光切割设备中的同轴实时影像定位功能，广角CCD和小视野高倍率上 CCD组合使用实现微米量级的测量精细度，小视野高倍率上CCD和小视野 高倍率下CCD便捷切换满足正切、背切、表面粗化和背镀铝晶圆的切割。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州德龙激光有限公司;江阴德飞激光设备有限公司 |
| 发明人： | 赵裕兴;徐海宾 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910027563.9 |
| 公开号： | CN101559629 |
| 代理机构： | 南京苏科专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 陈忠辉 |
| 分类号： | B28D7/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 215021江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号 |
| 主权项： | 1.应用于LED激光切割设备的同轴影像系统，包括同轴LED点光源 模组(1)、45度全反镜(2)、广角CCD模组(3)、第一45度分光镜(4)、 小视野高倍率上CCD模组(5)、第二45度分光镜(6)、波长选择镜(7)、 LED环形光源(8)、聚焦镜(9)、小视野高倍率下CCD模组(10)，其特 征在于：所述同轴LED点光源模组(1)、广角CCD模组(3)和小视野 高倍率上CCD模组(5)三者自上而下并排排布，波长选择镜(7)安装 在上CCD模组(5)与聚焦镜(9)之间，LED环形光源(8)紧贴在聚焦 镜(9)上，聚焦镜(9)正对于工件，在工件的下方安装小视野高倍率下 CCD模组(10)； 所述同轴LED点光源模组(1)输出的照明光源通过45度全反镜(2) 形成自上而下垂直照射，依次透过第一45度分光镜(4)、第二45度分光 镜(6)、波长选择镜(7)和聚焦镜(9)将工件投影成像于小视野高倍率 下CCD模组(10)； 所述LED环形光源(8)出射的照明光源将工件表面反射经聚焦镜(9)、 波长选择镜(7)、第二45度分光镜(6)和第一45度分光镜(4)成像于 广角CCD模组(3)； 所述小视野高倍率下CCD模组(10)出射的照明光源将工件投影透 过聚焦镜(9)、波长选择镜(7)和第二45度分光镜(6)成像于小视野 高倍率上CCD模组(5)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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