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应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台
| 专利名称： | 应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台 |
| 摘要： | 本发明涉及应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，包括X-Y 轴和θ轴，X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送单元和Y 轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直线马达，Y 轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传送单元安装 于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设置θ轴，θ 轴包括转轴和控制转轴旋转的电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块， 真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，X-Y轴布置在底板上。应 用于LED激光切割设备中X-Y-θ运动平台实现了自身惯量小、启动和停 止时间短、微米级定位、切割道秒级角度调整功能，满足晶圆切割量产的 要求。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州德龙激光有限公司;江阴德飞激光设备有限公司 |
| 发明人： | 赵裕兴;胡 剑 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-04-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910031353.7 |
| 公开号： | CN101570040 |
| 代理机构： | 南京苏科专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 陈忠辉 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I |
| 申请人地址： | 215021江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号 |
| 主权项： | 1.应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台，其特征在于：包括 X-Y轴和θ轴，所述X-Y轴和θ轴均呈中空结构，X-Y轴包含X轴传送 单元和Y轴传送单元，X轴传送单元包含X轴板和控制X轴板运动的直 线马达，Y轴传送单元包含Y轴板和控制Y轴板运动的直线马达，Y轴传 送单元安装于X轴传送单元的X轴板上，在Y轴传送单元的Y轴板上设 置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的压电陶瓷电机，在θ轴的转轴中 安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，由θ 轴转轴驱动真空吸附模块作旋转运动，由X-Y轴驱动真空吸附模块沿X、 Y方向作两个自由度运动；所述X-Y轴布置在底板上，在底板的底部安装 有下CCD影像系统，下CCD影像系统透过X-Y轴和θ轴的中空结构与真 空吸附模块相对。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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