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原文传递高通量无极真空紫外光源

专利名称：	高通量无极真空紫外光源
摘要：	本发明公开一种高通量无极真空紫外光源，该光源由射频电源、射频调谐匹配装置、配气系统、气体缓冲腔、电磁诱导线圈、惰性气体激发管和氟化镁透镜窗片组成。其激发气体为氦、氖、氩、氪气、氙等惰性气体或其一定比例的混合气体。氟化镁透镜、惰性气体激发管和气体缓冲腔接口密封采用氟化O-ring，方法简便，可反复拆卸，任意更换灯体损坏的零部件。该光源主要输出8-10.5eV的连续真空紫外光。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国科学院生态环境研究中心
发明人：	束继年;孟筠旺;高绍凯;张阳;李曜
专利状态：	有效
申请日期：	2008-04-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810105121.7
公开号：	CN101567297
分类号：	H01J65/04(2006.01)I
申请人地址：	100085北京市海淀区双清路18号
主权项：	1、高通量无极真空紫外光源由射频电源、射频调谐匹配装置、配气系统、气体缓冲腔、电磁诱导线圈、惰性气体激发管和窗片组成。其特征在于惰性气体激发管内抽真空后注入氦、氖、氩、氪气、氙等惰性气体或其一定比例的混合气体后，由射频电流经电磁诱导线圈产生的高频磁场加速电子，碰撞激发惰性气体产生高激发态原子和准分子，高激发态原子和准分子发出的真空紫外光经窗片输出。
所属类别：	发明专利