专利名称: |
激光刻膜设备和划线方法及用其制造的非晶硅薄膜光伏板 |
摘要: |
本发明公开了激光刻膜设备和划线方法及用其制造的非晶硅薄膜光伏
板。该用于薄膜划线的激光刻膜设备,包括:工作平台,以及向所述工作平
台发射单一波长激光的单一激光源;其中该单一激光源的功率可调,从而以
不同功率的激光对设置在同一个所述工作平台上的同一个基板上的不同膜
进行划线。通过采用本发明的激光刻膜设备和划线方法所制造的非晶硅薄膜
光伏板与采用多个分立划线机器的传统图案化方法相比,由错划线引起的有
源区域的额外损耗大大减少,并且输出功率得以提高。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
福建;35 |
申请人: |
福建钧石能源有限公司 |
发明人: |
李沅民;杨与胜 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2008-04-24T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200810095811.9 |
公开号: |
CN101567303 |
代理机构: |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人: |
陶凤波;张 波 |
分类号: |
H01L21/00(2006.01)I |
申请人地址: |
362000福建省泉州市鲤城区南环路江南高新科技园区 |
主权项: |
1、一种用于薄膜划线的激光刻膜设备,包括:
工作平台,和
单一激光源,向所述工作平台发射单一波长的激光;
其中,该单一激光源的功率可调,从而以不同功率的激光对设置在同一
个所述工作平台上的同一个基板上的不同膜进行划线。 |
所属类别: |
发明专利 |