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检测等离子体非约束的方法和装置
| 专利名称： | 检测等离子体非约束的方法和装置 |
| 摘要： | 提供一种检测斜角边沿清洁操作过程中反应室内的等离子体 非约束的方法。该方法开始于选定与斜角边沿清洁工艺的期望副产 品有关的波长。该方法包括清洁基板的该斜角边沿区域，及在该清 洁过程中，监视该选定的波长对一波长强度的偏离。如果对该波长 强度的该偏离超过目标偏离，则终止该清洁过程。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 朗姆研究公司 |
| 发明人： | 金基占;安德鲁·D·贝利三世;金允上 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-04T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910137287.1 |
| 公开号： | CN101571477 |
| 代理机构： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李丙林;吴贵明 |
| 分类号： | G01N21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 主权项： | 1.一种检测斜角边沿清洁操作过程中反应室内的等离子体非约 束的方法，该方法包含： 选定与斜角边沿清洁工艺的期望副产品有关的波长； 清洁基板的该斜角边沿区域； 在该清洁过程中，监视该选定的波长对一波长强度的偏 离； 如果对该波长强度的该偏离超过目标偏离，则终止该清 洁。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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