原文传递
提高激光薄膜吸收测量空间分辨率的光学系统及方法
| 专利名称： | 提高激光薄膜吸收测量空间分辨率的光学系统及方法 |
| 摘要： | 一种提高激光薄膜吸收测量空间分辨率的光学系统及方法，光学 系统基于表面热透镜原理，由探测光路和泵浦光路组成；泵浦光经透镜 聚焦后辐照于样品表面，探测光斑与泵浦光斑重合；样品表面上探测光 的光斑相当于或大于泵浦光的光斑；探测光和泵浦光分别被斩波器同频 调制且两列调制波的相位可控；样品反射的探测光经过成像透镜后由面 阵列CCD相机接收；根据图像锁相原理得到薄膜吸收对应的图像锁相 信号。本发明具有灵敏度高，调节简便，测量结果直观，测量的空间分 辨率高的特点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 发明人： | 陶春先;凌秀兰;贺洪波;赵元安;李大伟;张 蕾 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-06-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910052375.1 |
| 公开号： | CN101576483 |
| 代理机构： | 上海新天专利代理有限公司 |
| 代理人： | 张泽纯 |
| 分类号： | G01N21/31(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201800上海市800-211邮政信箱 |
| 主权项： | 1、一种提高激光薄膜吸收测量空间分辨率的光学系统，其特征在于 该系统由泵浦光路、探测光路、成像光路和计算机(17)构成： 所述的泵浦光路由泵浦光(10)及沿该泵浦光(10)依次设置的第 二衰减器(11)、第二调制器(12)和第二透镜(13)构成，该泵浦光(10) 经第二透镜(13)聚集后照射在待测的薄膜样品(2)上形成泵浦光斑； 所述的探测光路由探测光(5)及沿该探测光(5)依次设置的第一 衰减器(6)、第一调制器(7)、第一反射镜(8)和第一透镜(9)构成， 所述的探测光(5)经所述的第一调制器(7)进行相位调制和所述的第 一透镜(9)聚集在待测的薄膜样品(2)上，使该探测光斑覆盖所述的 泵浦光斑； 所述的成像光路包括在所述的探测光的反射光方向的第二反射镜 (14)、扩束透镜(15)和面阵CCD(16)； 所述的计算机(17)分别与所述的面阵CCD(16)、第一调制器(7) 和第二调制器(12)相连。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
