原文传递
基于空间干涉的透明薄膜折射率测量装置及方法
| 专利名称： | 基于空间干涉的透明薄膜折射率测量装置及方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于空间干涉的透明薄膜折射率测量装置及方法，搭建宽带光源(1)、起偏器(2)、保偏光纤(3)、平凸透镜(4)、作为迈克尔干涉仪的分束器(7)、光谱仪(11)以及控制与数据采集电路(12)的测量装置；利用作为迈克尔逊干涉仪移动臂进行扫描，实现对保偏光纤的空间分布寄生偏振耦合的测量，得到干涉耦合图像；步骤(3)、计算移动臂上反射镜的扫描移动距离Δs，计算出被测透明薄膜折射率nm。与现有技术相比，本发明可对等厚度的薄膜进行测量，精确度高；装置结构简单，测量方法操作简便。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 张红霞;宋晓敏;李东阳;贾大功;刘铁根 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810974484.8 |
| 公开号： | CN109187433A |
| 代理机构： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
| 代理人： | 李素兰 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 300072 天津市南开区卫津路92号 |
| 主权项： | 1.一种基于空间干涉的透明薄膜折射率测量装置，其特征在于，该装置包括宽带光源(1)、起偏器(2)、保偏光纤(3)、平凸透镜(4)、作为迈克尔干涉仪的分束器(7)、光谱仪(11)以及控制与数据采集电路(12)；其中：宽带光源(1)出射的光经过起偏器(2)后变为线偏振光，该线偏振光经过保偏光纤(3)后被第一平凸透镜(4)扩束准直；经扩束后的准直光束输入被分束器(7)分成两束，分别入射到作为迈克尔逊干涉仪固定臂的固定式反射镜(5)和扫描臂的可移动式反射镜(8)，通过步进电机(9)控制可移动式反射镜(8)的移动，通过干涉仪两臂之间的光程差补偿保偏光纤(3)中两正交偏振光束之间的光程差；经过迈克尔逊干涉仪的干涉光经过第二平凸透镜(10)会聚，经过光谱仪(11)和数据采集电路获取保偏光纤(3)的偏振耦合图。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
