原文传递
微机械结构的检测方法、微机电组件及其微检测结构
| 专利名称： | 微机械结构的检测方法、微机电组件及其微检测结构 |
| 摘要： | 本发明是关于一种微机械结构的检测方法、微机电组件及其微检测结 构，适用于取得一微机械结构所使用的一薄膜层的机械性质，该检测方法包 括先形成一微检测结构于微机械结构的一基材上，且该微检测结构的一欲 检测部分是由上述薄膜层所构成，接着振动该欲检测部分，并测量出欲检测 部分的共振频率，接着经由欲检测部分的几何尺寸、密度及共振频率，而推 导出欲检测部分的机械性质，以取得薄膜层的机械性质。此外，微检测结构 的型态包括微悬臂梁及无边界梁。本发明额外增加一堆叠层于结构层表面，可 提高悬臂梁共振频率的测量准确度，更准确取得悬臂梁即薄膜层的机械性 质；另以挠性结构如摺曲梁取代现有直式支撑梁，故可更准确取得检测梁即 薄膜层的机械性质。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 台达电子工业股份有限公司 |
| 发明人： | 蔡欣昌;方维伦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-08-20T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710104484.4 |
| 公开号： | CN101581601 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 程 伟 |
| 分类号： | G01H13/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 中国台湾桃园县 |
| 主权项： | 1、一种微机电组件，其特征在于其包括： 一基材，具有一组件区域及一检测区域； 一微机械结构，形成于该组件区域；以及 一微检测结构，形成于该检测区域。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
