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原文传递一种SERS基底制备方法、微流体通道内的SERS结构、微流体SERS检测方法

专利名称：	一种SERS基底制备方法、微流体通道内的SERS结构、微流体SERS检测方法
摘要：	本发明涉及一种SERS基底制备方法、微流体通道内的SERS结构、微流体SERS检测方法。本发明提供的制备方法包括：I)在基底上涂布光刻胶；II)对光刻胶进行三维激光打印、显影和超临界干燥，得到多个设置在基底上且彼此分离的聚合物微结构；III)在聚合物微结构的表面设置SERS功能层；IV)在步骤III)得到的材料上滴加可产生毛细力的液体，之后使液体蒸发，得到具有纳米间隙结构的SERS基底。本发明提供的制备方法既能在平面基底材料，也能在微通道、曲面等非平面基底材料上制备纳米间隙结构；将该制备方法应用到微通道，可在微通道内构建具有纳米间隙的SERS结构，其在微流体SERS检测领域具有良好的应用前景。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	中国科学技术大学
发明人：	劳召欣;吴东;胡衍雷;褚家如
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201910731052.9
公开号：	CN110346350A
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	藏斌
分类号：	G01N21/65(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
主权项：	1.一种具有纳米间隙结构的SERS基底制备方法，包括以下步骤： I)在基底上涂布光刻胶，形成光刻胶层； II)对所述光刻胶层进行三维激光打印，然后在显影液中显影，之后进行超临界干燥，得到多个设置在基底上且彼此分离的聚合物微结构； III)在所述聚合物微结构的表面设置SERS功能层； IV)在步骤III)得到的材料上滴加可产生毛细力的液体，之后使所述液体蒸发，蒸发过程中彼此分离的聚合物微结构在毛细力诱导下组装成纳米间隙结构，得到具有纳米间隙结构的SERS基底。 2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤I)中，所述光刻胶包括SZ2080光刻胶、NOA61光刻胶、SU8系列光刻胶或光敏性聚二甲基硅氧烷。 3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤II)中，所述三维激光打印的方式为飞秒激光双光子三维打印。 4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤II)中，所述显影液包括正丙醇、乙醇、丙酮和水中的一种或多种。 5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤II)中，所述聚合物微结构为聚合物微柱；所述聚合物微柱的直径为500nm～1μm，高度为15～20μm。 6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤III)中，所述SERS功能层的材料包括金、银、铂和石墨烯中的一种或多种。 7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤III)中，所述SERS功能层的厚度为10～20nm。 8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤IV)中，所述液体包括水、乙醇、正丙醇和丙酮中的一种或多种。 9.一种微流体通道内的SERS结构，其特征在于，以微通道作为基底，按照权利要求1～8任一项所述的制备方法制成。 10.一种微流体SERS检测方法，其特征在于，使用微流体通道对待测样品进行检测；所述微流体通道内具有如权利要求9所述的SERS结构。
所属类别：	发明专利