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长程表面等离子体波与介质导波耦合结构及其应用
| 专利名称： | 长程表面等离子体波与介质导波耦合结构及其应用 |
| 摘要： | 本发明涉及一种长程表面等离子体波与介质导波混合耦合结构， 该结构包括：介质衬底层(10)；位于该介质衬底层(10)上的介质 波导层(7)；位于该介质导波层上的耦合匹配层(8)；以及形成于该 耦合匹配层(8)上的、用于传导长程表面等离子体波的长程表面等 离子体波导部分，该长程表面等离子波导部分进一步包括：介质缓冲 层(9)、金属层(6)、以及介质覆盖层(11)。应用上述混合耦合结 构可实现可集成的、极高灵敏度、体积小、稳定性高的折射率传感器， 以及高性能、低功耗的光电强度调制器。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 清华大学;日本罗姆公司 |
| 发明人： | 刘 仿;万锐媛;黄翊东;彭江得;大西大;丹羽大介;三浦义胜 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-04-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910132692.4 |
| 公开号： | CN101581814 |
| 代理机构： | 北京路浩知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 胡小永 |
| 分类号： | G02B6/10(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100084北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 |
| 主权项： | 1、一种长程表面等离子体波与介质导波耦合结构，其特征在于， 该结构由下至上分别为：介质衬底层(10)、介质波导层(7)、耦合 匹配层(8)和长程表面等离子体波导部分。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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