专利名称: |
短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用 |
摘要: |
本发明涉及一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合
结构,包括介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该
介质导波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传
导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。采用所述结构
可实现高度集成的耦合器,起偏器,调制器以及超薄物质折射率的高
灵敏度检测芯片。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
北京;11 |
申请人: |
清华大学;罗姆公司 |
发明人: |
刘 仿;万锐媛;黄翊东;冯 雪;张 巍;彭江德;大西大;丹羽大介;三浦羲胜 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2008-12-16T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200810186418.0 |
公开号: |
CN101556353 |
代理机构: |
北京路浩知识产权代理有限公司 |
代理人: |
王朋飞 |
分类号: |
G02B6/24(2006.01)I |
申请人地址: |
100084北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 |
主权项: |
1、一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构,其
特征在于,所述耦合结构包括:
介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该介质导
波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程
表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。 |
所属类别: |
发明专利 |