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原文传递 短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用
专利名称: 短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用
摘要: 本发明涉及一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合 结构,包括介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该 介质导波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传 导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。采用所述结构 可实现高度集成的耦合器,起偏器,调制器以及超薄物质折射率的高 灵敏度检测芯片。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 北京;11
申请人: 清华大学;罗姆公司
发明人: 刘 仿;万锐媛;黄翊东;冯 雪;张 巍;彭江德;大西大;丹羽大介;三浦羲胜
专利状态: 有效
申请日期: 2008-12-16T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200810186418.0
公开号: CN101556353
代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
代理人: 王朋飞
分类号: G02B6/24(2006.01)I
申请人地址: 100084北京市海淀区清华园北京100084-82信箱
主权项: 1、一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构,其 特征在于,所述耦合结构包括: 介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该介质导 波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程 表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。
所属类别: 发明专利
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