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原文传递一种激光探针微区成分分析仪

专利名称：	一种激光探针微区成分分析仪
摘要：	本发明属于激光探测技术领域，具体为一种激光探针微区成分分析仪。其结构为：激光器，扩束镜和第一全反射镜依次位于同一水平光路上；第一全反射镜的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD位于第一全反射镜的上方，工业CCD和第一聚焦物镜自上而下依次放置且光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜的下方；全反射镜活动安装在样品的反射光路上，光纤探头位于全反射镜的反射光路上；工业CCD通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头与光栅光谱仪、增强型CCD和计算机连接。该激光探针仪能对物质微区元素进行无损探测，能满足各种材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析，还可以针对样品微区的微量甚至痕量元素进行高精度的定量分析。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	华中科技大学
发明人：	曾晓雁;陆永枫;郭连波;蔡志祥;曹宇;李常茂
专利状态：	有效
申请日期：	2009-06-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200910062846.7
公开号：	CN101587074
代理机构：	华中科技大学专利中心
代理人：	曹葆青
分类号：	G01N21/64(2006.01)I
申请人地址：	430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
主权项：	1、一种激光探针微区成分分析仪，其特征在于：激光器(1)、扩束镜(5)和第一全反射镜(7)依次位于同一水平光路上，第一全反射镜(7)的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD(10)位于第一全反射镜(7)的上方，第一聚焦物镜(19)位于第一全反射镜(7)下方，第一聚焦物镜(19)和工业CCD(10)的光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜(19)的下方，用于放置样品 (23)；第二全反射镜(9)活动安装在样品(23)的反射光路上，光纤探头(8)位于第一全反射镜(7)的反射光路上；工业CCD(10)通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头(8)通过光纤(25)依次与光栅光谱仪(27)、增强型CCD(28)相连，后者通过同轴电缆和计算机连接。
所属类别：	发明专利