原文传递
一种适用于轻敲模式原子力显微镜的谐波激励成像系统
| 专利名称： | 一种适用于轻敲模式原子力显微镜的谐波激励成像系统 |
| 摘要： | 本发明公开了一种适用于轻敲模式原子力显微镜的谐波激励成像系统，其是在传 统的轻敲模式原子力显微镜中增加了函数发生器、低通滤波器和锁相放大器，函数发生器 连接在AFM探针激励器的激励信号输入端上，锁相放大器连接在光电四象限接收器与 AFM控制器之间，在函数发生器与锁相放大器之间串联有低通滤波器。本发明谐波激励 成像系统是一种在轻敲模式下使用谐波的叠加信号作为激励源，使用锁相放大器得到 探针运动的高次谐波分量，并使用这些高次谐波分量的振幅和相位来获得更多信息和 更高分辨率的成像技术。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京航空航天大学 |
| 发明人： | 李英姿;钱建强;李 渊;华宝成;杨 勇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-06-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910087766.7 |
| 公开号： | CN101592583 |
| 代理机构： | 北京永创新实专利事务所 |
| 代理人： | 周长琪 |
| 分类号： | G01N13/16(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100083北京市海淀区学院路37号 |
| 主权项： | 1、一种适用于轻敲模式原子力显微镜的谐波激励成像系统，其特征在于：是在传统 的轻敲模式原子力显微镜中增加了函数发生器、低通滤波器和锁相放大器，函数发生 器连接在AFM探针激励器的激励信号输入端上，锁相放大器连接在光电四象限接收 器与AFM控制器之间，在函数发生器与锁相放大器之间串联有低通滤波器； 所述的函数发生器输出的非正弦谐波信号V0分别作用到低通滤波器和AFM探针激 励器上； 所述的低通滤波器对接收的非正弦谐波信号V0进行滤除频率高于第一个共振频率 f1的信号分量，从而得到基频信号V1输出给锁相放大器； 所述的AFM探针激励器中的探针在非正弦谐波信号V0下进行振动，激光器产生的 光束聚焦到AFM探针激励器的悬臂顶端，反射的激光束被光电四象限接收器接收并输出 检测控制信号V2给锁相放大器； 所述的锁相放大器利用基频信号V1对接收到的检测控制信号V2进行解调放大处理 后分别输出探针振幅V3和探针相位V4给AFM控制器； 所述的AFM控制器根据探针振幅V3和探针相位V4来输出启动指令给扫描器进行 样品的三维成像。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
