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三维超高真空位移台
| 专利名称： | 三维超高真空位移台 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空设备。三维超高真空位移台，X向位移板与 Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动 连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与 波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板 或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆。本实用新型实现在超高真空环 境下的三维立体驱动，Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的 要求，中空构造，可向超高真空中导入各种要素，并使得Z方向直线 驱动顺畅，X、Y向采用直线滑轨，使得X、Y向驱动顺畅，X、Y、Z 三个方向的驱动位置可精确控制。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 发明人： | 郭方准 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-02-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200920011035.X |
| 公开号： | CN201355324 |
| 代理机构： | 大连科技专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 于忠晶 |
| 分类号： | G01N1/36(2006.01)I |
| 申请人地址： | 116023辽宁省大连市高新园区火炬路35号 |
| 主权项： | 1、三维超高真空位移台，其特征是：X向位移板与Y向位移板 之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分 别装有X向和Y向调整装置，压板与波纹管一端焊接，波纹管另一端 与法兰盘焊接，法兰盘与压板之间装有Z向调整螺杆。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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