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原文传递光罩检测设备

专利名称：	光罩检测设备
摘要：	本实用新型公开一种光罩检测设备，包括有：由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂；移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。本实用新型可实现高精度和非常小线宽的光罩缺陷检测，且可以适用于多种精度等级的光罩检测。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市路维电子有限公司
发明人：	杜武兵
专利状态：	有效
申请日期：	2009-01-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200920129523.0
公开号：	CN201359599
代理机构：	深圳市维邦知识产权事务所
代理人：	黄莉
分类号：	G01N21/88(2006.01)I
申请人地址：	518000广东省深圳市南山区高新区北区科苑大道西华瀚创新园D座1楼
主权项：	1、一种光罩检测设备，其特征在于，该设备包括有：由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂；移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。
所属类别：	实用新型