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原文传递一种光罩台车及光罩系统

专利名称：	一种光罩台车及光罩系统
摘要：	本发明提供一种光罩台车及光罩系统，该光罩台车包括：本体部，具有一容纳腔室，所述容纳腔室用于放置掩膜板；所述本体部包括多个竖直支架，其中靠近所述曝光机侧的竖直支架上开设有凹槽，且所述凹槽的位置与所述曝光机上的连锁报警设备的位置对应，所述凹槽可容纳所述连锁报警设备。本发明的光罩台车及光罩系统，能够提高生产效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉华星光电技术有限公司
发明人：	苏顺森
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910861534.6
公开号：	CN110588735A
代理机构：	深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人：	彭绪坤
分类号：	B62B3/00(2006.01);B;B62;B62B;B62B3
申请人地址：	430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
所属类别：	发明专利