详情

原文传递光罩盒及其固持件

专利名称：	光罩盒及其固持件
摘要：	本发明提供了一种光罩盒及其固持件。其中，所述固持件主要包括一支持本体、至少一条状支持件、一弹性本体以及至少一固定孔。其中所述至少一条状支持件设于所述支持本体上，所述弹性本体具有至少一开口，且所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部。所述至少一固定孔则设于所述支持本体及所述弹性本体上。而所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	家登精密工业股份有限公司
发明人：	盛剑平;周睿棋;邱铭乾
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-02T00:00:00+0800
发布日期：	2020-09-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201910263385.3
公开号：	CN111605892A
代理机构：	深圳市舜立知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	侯艺
分类号：	B65D81/107;B65D25/10;B65D77/26;B65D85/30;B;B65;B65D;B65D81;B65D25;B65D77;B65D85;B65D81/107;B65D25/10;B65D77/26;B65D85/30
申请人地址：	中国台湾新北市土城区中央路4段2号9楼
主权项：	1.一种固持件，其特征在于，包括：一支持本体；至少一条状支持件，设于所述支持本体上；一弹性本体，具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部；以及至少一固定孔，设于所述支持本体及所述弹性本体上；其中，所述固持件通过所述至少一固定孔设于一光罩盒内。 2.根据权利要求1所述的固持件，其特征在于，所述弹性本体的材质为橡胶。 3.根据权利要求2所述的固持件，其特征在于，所述支持本体及所述至少一条状支持件的材质为塑料。 4.根据权利要求3所述的固持件，其特征在于，所述塑料为聚醚醚酮。 5.根据权利要求4所述的固持件，其特征在于，所述橡胶为硅胶或热塑性橡胶。 6.根据权利要求1所述的固持件，其特征在于，所述弹性本体周缘上更设有至少一稳定肋、至少一稳定翼或其组合。 7.一种光罩盒，其特征在于，包括：一上盖；一下盖，与所述上盖配对密合形成一内表面；以及至少一固持件，设于所述内表面，每个所述固持件包括：一支持本体；至少一条状支持件，设于所述支持本体上；一弹性本体，具有至少一开口，所述弹性本体包覆所述支持本体并使每个所述条状支持件超出每个所述开口向上延伸一凸出部；以及至少一固定孔，设于所述支持本体及所述弹性本体上。 8.根据权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，所述光罩盒为光罩传送盒、光罩储存盒或极紫外光光罩盒。 9.根据权利要求8所述的光罩盒，其特征在于，所述光罩储存盒更承载一光罩，所述光罩尺寸规格为长800毫米且宽介于920－960毫米之间。 10.根据权利要求8所述的光罩盒，其特征在于，所述光罩储存盒的所述内表面四周缘各设有至少一卡榫槽，且每个所述固持件通过所述至少一固定孔固定于每个所述卡榫槽中。 11.根据权利要求10所述的光罩盒，其特征在于，所述弹性本体周缘上更设有至少一稳定肋、至少一稳定翼或其组合。
所属类别：	发明专利