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原文传递光罩异物检测设备

专利名称：	光罩异物检测设备
摘要：	本实用新型公开了一种光罩异物检测设备，包括：光罩盒，设置于一曝光机内；光罩，存放于所述光罩盒内；清洁装置，设置于所述光罩盒的出口处，用于对移出所述光罩盒的所述光罩进行表面清洁；异物检测器，用于对经过所述清洁装置清洁后的所述光罩进行异物检测。本实用新型的光罩异物检测设备，通过在光罩盒的出口处设置清洁装置，可以在光罩移出光罩盒的同时对光罩的表面进行清洁，实现了在光罩异物检测前先进行清洁，减少光罩表面的异物，提高了光罩异物检测的通过率，从而降低光罩异物检测的报警频率，提高机台稼动率及节省了人力成本。
专利类型：	实用新型专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	刘刚;徐勇
专利状态：	有效
申请日期：	2015-05-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201520329839.X
公开号：	CN204667040U
代理机构：	上海唯源专利代理有限公司 31229
代理人：	曾耀先
分类号：	G03F7/20(2006.01)I
申请人地址：	201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种光罩异物检测设备，其特征在于，包括：光罩盒，设置于一曝光机内；光罩，存放于所述光罩盒内；清洁装置，设置于所述光罩盒的出口处，用于对移出所述光罩盒的所述光罩进行表面清洁；以及异物检测器，用于对经过所述清洁装置清洁后的所述光罩进行异物检测。
所属类别：	实用新型