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原文传递 微芯片及微芯片的制造方法
专利名称: 微芯片及微芯片的制造方法
摘要: 一种微芯片,该微芯片备有:树脂基板,其具有形成了流路用槽的第1表面和所述第1表面反面的第2表面;接合在所述第1表面上的树脂薄膜;从垂直于所述第1表面的方向看到的所述树脂基板的投影面积,大于所述树脂基板的所述第1表面的面积。这样,用辊热接合树脂基板和树脂薄膜时,能够抑制微芯片的翘曲。
专利类型: 发明专利
申请人: 柯尼卡美能达精密光学株式会社
发明人: 平山博士
专利状态: 有效
申请日期: 2009-04-07T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200980112324.1
公开号: CN101999078A
代理机构: 北京市柳沈律师事务所 11105
代理人: 岳雪兰
分类号: G01N35/08(2006.01)I
申请人地址: 日本东京都
主权项: 一种微芯片,备有:树脂基板,其具有形成了流路用槽的第1表面和所述第1表面反面的第2表面;接合在所述第1表面上的树脂薄膜;微芯片的特征在于,从垂直于所述第1表面的方向看到的所述树脂基板的投影面积,大于所述树脂基板的所述第1表面的面积。
所属类别: 发明专利
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