专利名称: | 微芯片及微芯片的制造方法 |
摘要: | 一种微芯片,该微芯片备有:树脂基板,其具有形成了流路用槽的第1表面和所述第1表面反面的第2表面;接合在所述第1表面上的树脂薄膜;从垂直于所述第1表面的方向看到的所述树脂基板的投影面积,大于所述树脂基板的所述第1表面的面积。这样,用辊热接合树脂基板和树脂薄膜时,能够抑制微芯片的翘曲。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 柯尼卡美能达精密光学株式会社 |
发明人: | 平山博士 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-04-07T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200980112324.1 |
公开号: | CN101999078A |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人: | 岳雪兰 |
分类号: | G01N35/08(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
主权项: | 一种微芯片,备有:树脂基板,其具有形成了流路用槽的第1表面和所述第1表面反面的第2表面;接合在所述第1表面上的树脂薄膜;微芯片的特征在于,从垂直于所述第1表面的方向看到的所述树脂基板的投影面积,大于所述树脂基板的所述第1表面的面积。 |
所属类别: | 发明专利 |