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一种微悬臂梁气体传感器及其制作方法
| 专利名称： | 一种微悬臂梁气体传感器及其制作方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微悬臂梁气体传感器，它包括传感单元，其特征在于，每组传感单元包括两个微悬臂梁，分别为测量悬臂梁和参考悬臂梁，所述测量悬臂梁和参考悬臂梁与两个匹配电阻组成惠斯登电桥；测量悬臂梁和参考悬臂梁接在惠斯登电桥的相邻桥臂，所述测量悬臂梁表面设置有压敏和气敏层；所述参考悬臂梁表面沉积一层聚电解质聚二烯丙基氯化铵薄膜；采用光敏聚酰亚胺作为牺牲层材料，通过倒八字窗口进行传感器上下电极连接。该传感器结构简单，测试灵敏度更高，在环境监测、食品安全及军事等领域均具有广泛的应用前景。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 电子科技大学 |
| 发明人： | 太惠玲;蒋亚东;苟君;严剑飞 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-07-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010218524.X |
| 公开号： | CN101936937A |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I |
| 申请人地址： | 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 |
| 主权项： | 一种微悬臂梁气体传感器，它包括传感单元，其特征在于，每组传感单元包括两个微悬臂梁，分别为测量悬臂梁和参考悬臂梁，所述测量悬臂梁和参考悬臂梁与两个匹配电阻组成惠斯登电桥；测量悬臂梁和参考悬臂梁接在惠斯登电桥的相邻桥臂，所述测量悬臂梁表面设置有压敏和气敏层；所述参考悬臂梁表面沉积一层聚电解质聚二烯丙基氯化铵薄膜；采用光敏聚酰亚胺作为牺牲层材料，通过倒八字窗口进行传感器上下电极连接。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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