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声表面波气体传感器及其制作方法
| 专利名称： | 声表面波气体传感器及其制作方法 |
| 摘要： | 本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法，该声表面波气体传感器用于探测NO2气体的浓度，该方法包括：提供基底，所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器；在所述基底表面上形成感光层，在感光层表面内形成敏感膜区图形；以具有敏感膜区图形的感光层为掩膜，在所述基底表面上形成具有In2O3与Ag的复合膜；去除所述感光层材料，得到敏感膜，所述敏感膜位于所述输入叉指换能器和输出叉指换能器之间的本体层表面上。本发明实施例的传感器在常温下灵敏度高，反应快速，且能准确测量NO2气体的浓度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 发明人： | 李冬梅;周文;刘明;谢常青;侯成诚;汪幸;闫学锋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-11-01T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110340578.8 |
| 公开号： | CN102507733A |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
| 代理人： | 逯长明 |
| 分类号： | G01N29/036(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |
| 主权项： | 一种声表面波气体传感器的制作方法，该声表面波气体传感器用于探测NO2气体的浓度，其特征在于，包括：提供基底，所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器；在所述基底表面上形成感光层，在感光层表面内形成敏感膜区图形；以具有敏感膜区图形的感光层为掩膜，在所述基底表面上形成具有In2O3与Ag的复合膜；去除所述感光层材料，得到敏感膜，所述敏感膜位于所述输入叉指换能器和输出叉指换能器之间的本体层表面上。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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