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一种声表面波气体传感器气敏测试系统
| 专利名称： | 一种声表面波气体传感器气敏测试系统 |
| 摘要： | 一种声表面波气体传感器气敏测试系统，属于传感器及气敏元件性能测试交叉领域。包括釜体、信号采集分析系统，气体质量流量控制系统，温度控制系统，釜内压强检测装置，真空排气装置，及防爆装置；釜体放置于温度控制系统的筒状加热腔内，釜体上设有进气口与排气口，进气口与气体质量流量控制系统相连，排气口与釜内压强检测装置及真空排气装置连接，防爆装置一端连接到釜体内，另一端与真空排气装置末端接入通风橱；所述的信号采集分析系统由网络分析仪和测试台组成，测试台设置在釜体内。该系统可对气体浓度，测试温度，环境气压，干扰项等因素进行同时监控，为SAW气体传感器测试提供良好的密闭环境，且操作性良好，提高了研究的效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津理工大学 |
| 发明人： | 李明吉;苏云鹏;李红姬;李翠平;钱莉荣;杨保和 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810359279.0 |
| 公开号： | CN108459078A |
| 代理机构： | 天津耀达律师事务所 12223 |
| 代理人： | 张耀 |
| 分类号： | G01N29/02(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29;G01N29/02 |
| 申请人地址： | 300384 天津市西青区宾水西道391号 |
| 主权项： | 1.一种声表面波气体传感器气敏测试系统，其特征在于包括釜体(1)、信号采集分析系统，气体质量流量控制系统(5)，温度控制系统(3)，釜内压强检测装置(7)，真空排气装置(8)，及防爆装置(9)；釜体(1)放置于温度控制系统(3)的筒状加热腔内，釜体(1)上设有进气口与排气口，其中的进气口与气体质量流量控制系统(5)相连，其中的排气口与釜内压强检测装置(7)及真空排气装置(8)连接，防爆装置(9)一端连接到釜体(1)内，另一端与真空排气装置(8)末端接入通风橱(10)；所述的信号采集分析系统由网络分析仪(6)、测试台(2)及其连接的射频电缆组成，测试台(2)设置在釜体(1)内。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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