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一种改善半导体材料光致发光测试效果的测试系统
| 专利名称： | 一种改善半导体材料光致发光测试效果的测试系统 |
| 摘要： | 本发明涉及一种改善半导体材料光致发光测试效果的测试系统，包括激光器、光谱测量系统和光路部件，光路部件包括反射镜、透镜和抛物面镜，并构成测试光路。激光器激发的激光经过反射镜转换方向后由透镜聚焦直接照射在被测样品上，被测样品反射的激光通过抛物面镜收集转向准直后以宽光束形式送达光谱测量系统。本发明中的激光器根据半导体材料的特性选择合适的发射波长，从而获得较高的光致发光强度，提升光致发光测试能力及改善测试的灵敏度，并且本发明对光谱测量系统也没有限制和特殊要求，实现方式相当灵活。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 发明人： | 张永刚;顾溢 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-08-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010262401.6 |
| 公开号： | CN101949844A |
| 代理机构： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 |
| 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 分类号： | G01N21/63(2006.01)I |
| 申请人地址： | 200050 上海市长宁区长宁路865号 |
| 主权项： | 一种改善半导体材料光致发光测试效果的测试系统，包括激光器(1)、光谱测量系统(2)和光路部件(3)，其特征在于，所述的光路部件(3)包括反射镜(31)、透镜(32)和抛物面镜(33)，并构成测试光路；所述的激光器(1)发射的激光经过所述的反射镜(31)转换方向后由所述的透镜(32)聚焦直接照射在被测样品(4)上，所述的被测样品(4)产生的激光通过抛物面镜(33)收集转向准直后以宽光束形式送达光谱测量系统(2)；所述的激光器(1)根据半导体材料的特性确定发射波长；所述的发射波长小于被测样品产生的光致发光波长，并在近红外波段内选取。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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