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原文传递 石英晶片切角大规模精确校正工艺
专利名称: 石英晶片切角大规模精确校正工艺
摘要: 本发明提供一种石英晶片切角大规模精确校正工艺,它包括:对石英晶片的切割角度进行X射线角度检测,定向标识石英晶片;将石英晶片按角度范围分档;将同档角度范围内的石英晶片进行两两组合,将每组石英晶片错位后进行叠粘,每组石英晶片错位宽度一致;将叠粘好的每组石英晶片放在双面研磨设备中进行批量研磨;研磨中对石英晶片的切割角度进行X射线角度检测,当角度达到要求角度时,完成整批石英晶片的切割角度初步校正工作,即可下片;将每组石英晶片两两分离,再将石英晶片的校角研磨面朝下置于双面研磨设备下盘面,并对石英晶片进行双面研磨,直至石英晶片两主平面平行。该工艺具有加工精度高、产品一致性好、适合大规模生产的优点。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 河南;41
申请人: 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司
发明人: 李广辉;李二周
专利状态: 有效
申请日期: 2010-10-15T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201010507564.6
公开号: CN101973076A
代理机构: 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117
代理人: 黄军委
分类号: B28D5/00(2006.01)I
申请人地址: 454650 河南省济源市科技工业园区石晶光电济源分公司
主权项: 一种石英晶片切角大规模精确校正工艺,其特征在于,该校正工艺包括以下步骤:步骤1、对石英晶片的切割角度进行X射线角度检测,按定向时方位,将检测角度值对应标识在超差需校正角度的石英晶片上;步骤2、角度标识完毕后,将石英晶片按角度范围分档;步骤3、将同档角度范围内的石英晶片进行组合,两块石英晶片为一组,并将每组石英晶片错位后进行叠粘,每组石英晶片错位宽度一致;步骤4、将叠粘好的每组石英晶片放在双面研磨设备中进行批量研磨;步骤5、研磨中,对石英晶片的切割角度进行X射线角度检测,当角度达到要求角度时,完成整批石英晶片的切割角度初步校正工作,即可下片;步骤6、将每组石英晶片两两分离,然后,再将石英晶片的校角研磨面朝下置于双面研磨设备下盘面,并对石英晶片进行双面研磨,直至石英晶片两主平面平行,即可。
所属类别: 发明专利
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