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原文传递基材反转系统

专利名称：	基材反转系统
摘要：	本发明提供一种用于进行高速基材反转以促进任一基材表面的光电制造处理的方法和设备，包含两个堆迭的输送器，所述两个堆迭的输送器协力地旋转且经定位以同时啮合一基材的两个表面，以使得能够装载、反转及分配沿着一自动化生产系统的基材生产流程平面行进的基材，并可进一步用于持续移除因接触基材表面而聚集在输送带上的处理和环境残渣，并促进直接将处理和环境残渣清洁出基材表面。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料公司
发明人：	A·巴希尼;M·佳利亚佐
专利状态：	有效
申请日期：	2009-05-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200980157596.3
公开号：	CN102325709A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：	陆嘉;张欣
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	一种用于反转基材的设备，包括：第一输送器组件，具有第一支承表面和安置于该第一支承表面上的第一输送带；第二输送器组件，具有第二支承表面和安置于该第二支承表面上的第二输送带，其中所述第一支承表面相邻定位于所述第二支承表面上方以形成间隙；至少一个第一致动器，耦接至所述第一输送带，以使得所述第一输送带可相对于所述第一支承表面定位；至少一个第二致动器，耦接至所述第二输送带，以使得所述第二输送带可相对于所述第二支承表面定位；及反转致动器，耦接至所述第一输送器组件和所述第二输送器组件，且适于以面朝上或面朝下方向来定向所述第一输送器组件中的所述第一支承表面和所述第二输送器组件中的所述第二支承表面。
所属类别：	发明专利