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原文传递用于光刻机的准备单元

专利名称：	用于光刻机的准备单元
摘要：	一种带电粒子光刻系统，包含一准备单元(112)。此准备单元包含外壳，此外壳具有：第一装载口(131)，用以装载基板(22、82、122)到该外壳内及/或将该基板从该外壳中卸除；基板运送单元(127)，用以将该基板放置在该外壳内的基板支撑结构(23、83、123)上；以及第二装载口(132)，用以装载及/或卸载支撑该基板的该基板支撑结构。
专利类型：	发明专利
申请人：	迈普尔平版印刷IP有限公司
发明人：	H.J.德琼
专利状态：	有效
申请日期：	2010-02-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080017967.0
公开号：	CN102414782A
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	荷兰代夫特
所属类别：	发明专利