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物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法
| 专利名称： | 物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法 |
| 摘要： | 基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社尼康 |
| 发明人： | 青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-08-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201080036924.7 |
| 公开号： | CN102483579A |
| 分类号： | G03F7/20(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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