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原文传递基板载置台

专利名称：	基板载置台
摘要：	基板临时放置台(105)具备：基座(140)；支撑部(143)，其从基座(140)向上方延伸，能用上端部支撑被载置的基板；以及托板(146)，其以位于比支撑部(143)的上端部靠下方的方式配置于基座(140)，并且设为能向上方位移，能载置被基座(140)的上端部支撑的玻璃基板(W1)。
专利类型：	发明专利
申请人：	夏普株式会社
发明人：	大河原淳平
专利状态：	有效
申请日期：	2010-05-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080026572.7
公开号：	CN102498554A
分类号：	H01L21/673(2006.01)I
申请人地址：	日本大阪府
所属类别：	发明专利