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具有预热特征结构的基板传送机构
| 专利名称： | 具有预热特征结构的基板传送机构 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种用于在传送期间加热一或多个基板的设备及方法。一实施例提供一种机械臂叶片组件，用于支撑设置于机械臂叶片组件上的基板或基板载体。该机械臂叶片组件包含：底板；感应加热组件，设置于该底板上；及顶板，设置于该感应加热组件上方。另一实施例提供一种感应加热组件，设置于传送腔室上方，该传送腔室具有基板传送机构设置于该传送腔室内。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料公司 |
| 发明人： | 石川哲也;L·L·庞;Q·D·帕姆;多纳德·J·K·欧盖杜 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-09-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201080040865.0 |
| 公开号： | CN102498556A |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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