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原文传递硅片表面隐裂的检测方法

专利名称：	硅片表面隐裂的检测方法
摘要：	本发明公开一种硅片表面隐裂的检测方法，包括准备部分和操作部分；准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，并观察硅片表面现象。该方法根据吹气检测的特性，采用常见的蒸汽发生装置替代口吹气进行检测，具有方法简单、易于实现的优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	高佳太阳能股份有限公司
发明人：	俞振明;高瑶;王欣;杨乐
专利状态：	有效
申请日期：	2011-10-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110322831.7
公开号：	CN102507440A
代理机构：	北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：	陈慧珍
分类号：	G01N19/08(2006.01)I
申请人地址：	214174 江苏省无锡市惠山区堰桥镇堰丰路168号
主权项：	一种硅片表面隐裂的检测方法，其特征在于，包括准备部分和操作部分；所述准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；所述操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，观察硅片表面现象。
所属类别：	发明专利