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原文传递低波长红外光隐裂检测机构

专利名称：	低波长红外光隐裂检测机构
摘要：	本实用新型公开了一种低波长红外光隐裂检测机构，涉及硅片检测分选技术领域，包括相机、光源、隐裂模块和支架；所述隐裂模块顶板、上前板、侧板、下前板、底板和背板；所述支架包括前支架和背支架；所述相机安装在相机安装板上；所述相机安装板安装在顶板上；所述下前板和背板相对的面上各安装有一个用于固定光源的光源固定架；所述光源左右两侧分别固定在光源固定架上；所述前支架和背板分别安装在下前板前面底部和背板背面底部。本机构利用红外光能穿透硅片和衍射的原理检测硅片的隐裂，所述光源采用低波长红外光光源，所述相机采用8k高分辨率的近红外相机，比传统检测机构成本低且分辨率高，检测结果更准确。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州诚拓机械设备有限公司
发明人：	姜明
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201821876678.6
公开号：	CN209416933U
代理机构：	北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	汤东凤
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥东路25号工业园E6幢
主权项：	1.一种低波长红外光隐裂检测机构，包括相机(1)、光源(2)、隐裂模块和支架；其特征在于：所述隐裂模块包括顶板(41)、上前板(42)、侧板(43)、下前板(44)、底板(45)和背板(46)；所述支架包括前支架(51)和背支架(52)；所述相机(1)安装在相机安装板(11)上；所述相机安装板(11)安装在顶板(41)上；所述下前板(44)和背板(46)相对的面上各安装一个用于固定光源(2)的光源固定架(21)；所述光源(2)前后两侧分别固定在光源固定架(21)上，并且所述光源(2)位置在底板(45)正下方；所述前支架(51)安装在下前板(44)前面底部；所述背支架(52)安装在背板(46)背面底部。 2.根据权利要求1所述的一种低波长红外光隐裂检测机构，其特征在于：所述相机安装板(11)上设置有一个用于相机(1)感光的上通孔(111)。 3.根据权利要求2所述的一种低波长红外光隐裂检测机构，其特征在于：所述顶板(41)中间位置设置有一个用于相机(1)感光的下通孔(411)。 4.根据权利要求3或权利要求3所述的一种低波长红外光隐裂检测机构，其特征在于：所述上通孔(111)和下通孔(411)同轴心且半径相等。 5.根据权利要求1所述的一种低波长红外光隐裂检测机构，其特征在于：所述底板(45)中间位置沿着底板(45)较长边的方向设置有一条通光缝(451)。 6.根据权利要求1所述的一种低波长红外光隐裂检测机构，其特征在于：所述相机(1)选用8k高分辨率的近红外相机。 7.根据权利要求1所述的一种低波长红外光隐裂检测机构，其特征在于：所述光源(2)选用低波长红外光源。
所属类别：	实用新型