详情

原文传递基板搬运装置

专利名称：	基板搬运装置
摘要：	本发明公开了一种基板搬运装置，其包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体；一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上；一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上。借此能够选择同步或单一平移动作模式，同时能达到确保基板平整精度不受搬运动作所影响的实用进步性。本发明适用于各种需要使用基板搬运装置的场合。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社Siti
发明人：	近藤勇雄
专利状态：	有效
申请日期：	2010-11-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010539982.3
公开号：	CN102464210A
代理机构：	北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：	申海庆
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本长野县安云野市丰科高家1178-15
主权项：	一种基板搬运装置，所述基板搬运装置借以导送基板位移以达到搬运的目的；其特征在于，该基板搬运装置包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部，其中该滑动组配部组合于该轨道上，使该可旋转升降座能够沿着该轨道的延伸型态位移；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体，各该气浮箱体之间相对形成有笔直且横向穿通该承载面相对二侧的内凹通道；一平移式夹持导动架，
所属类别：	发明专利