专利名称: | 带电粒子显微镜中的低温试样处理 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 美国;US |
申请人: | FEI 公司 |
发明人: | J.米特彻斯;T.韦伊斯塔维;M.卡福雷克 |
专利状态: | 有效 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201710946654.7 |
公开号: | CN107966464A |
代理机构: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人: | 张一舟;邓雪萌 |
分类号: | G01N23/2202(2018.01)I;H01J37/26(2006.01)I;G;H;G01;H01;G01N;H01J;G01N23;H01J37;G01N23/2202;H01J37/26 |
申请人地址: | 美国俄勒冈州 |
所属类别: | 发明专利 |