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原文传递透射带电粒子显微镜的成像技术

专利名称：	透射带电粒子显微镜的成像技术
摘要：	一种使用透射带电粒子显微镜的方法，其包括：‑在样品固定器上提供样品；‑使用照明系统将来自来源的带电粒子束引导到所述样品上；‑使用成像系统将传输通过样品的带电粒子导向检测器，还包括以下动作：‑在采集步骤中，持续时间间隔T，使用粒子计数模式中的所述检测器来记录与各个粒子检测事件有关的时空数据，并以原始形式输出所述时空数据，而不组装成图像帧；‑在随后的渲染步骤中，在执行数学校正操作的同时，从所述时空数据组装最终图像。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	FEI 公司
发明人：	B.J.詹森;L.余;E.M.弗兰肯
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-02T00:00:00+0800
申请号：	CN201910067119.3
公开号：	CN110082370A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	刘书航;申屠伟进
分类号：	G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	美国俄勒冈州
主权项：	1.一种使用透射带电粒子显微镜的方法，其包括： - 在样品固定器上提供样品； - 使用照明系统将来自来源的带电粒子束引导到所述样品上； - 使用成像系统将传输通过样品的带电粒子导向检测器，其特征在于以下动作： - 在采集步骤中，持续时间间隔T，使用粒子计数模式中的所述检测器来记录与各个粒子检测事件有关的时空数据，并以原始形式输出所述时空数据，而不组装成图像帧； - 在随后的渲染步骤中，在执行数学校正操作的同时，从所述时空数据组装最终图像。 2.根据权利要求1所述的方法，其中组装所述最终图像之前，执行分析步骤，其包括： •将所述时间间隔T细分为多个分量时间间隔Tn； •对于每个分量时间间隔Tn，使用Tn期间获得的时空数据装配相应剂量分数数据集Dn，由此产生剂量分数数据集的集合{Dn}；和 •将至少两个所述剂量分数数据集相互比较，并使用该比较来确定所述校正。 3.根据权利要求2所述的方法，其中所述比较采用以下的至少一个进行： - 图像相似度量(ISM)； - 相互信息(MI)关系； - 交叉相关性； - 均方差(MSD)； - 相位相关性； - 基于本地特征的匹配。 4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中所述校正操作包括应用到所述时空数据的坐标变换。 5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中进行所述校正操作以减轻选自漂移、怠惰、散光、失真、散焦、样品辐射损伤和其组合的至少一种影响。 6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其中对获取的数据进行压缩操作，以便减小数据冗余。 7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其中所述校正操作包括滤波操作。 8.一种透射带电粒子显微镜，其包括： - 源，其用于产生带电粒子束； - 样品固定器，其用于固定样品； - 照明系统，其用于用所述带电粒子照射所述样品； - 成像系统，其用于将传输通过样品的带电粒子引导到检测器上； - 控制器，其用于控制显微镜操作的至少一些方面，其特征在于所述控制器配置成执行以下动作： - 在采集步骤中，持续时间间隔T，使用粒子计数模式中的所述检测器来记录与各个粒子检测事件有关的时空数据，并以原始形式输出所述时空数据，而不组装成图像帧； - 在随后的渲染步骤中，在执行数学校正操作的同时，从所述时空数据组装最终图像。
所属类别：	发明专利