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原文传递一种双漩涡式晶圆吸嘴组件

专利名称：	一种双漩涡式晶圆吸嘴组件
摘要：	本发明揭示了一种双漩涡式晶圆吸嘴组件，包括堵气块以及吸嘴帽，其中堵气块上表面设有呈双漩涡式分布的堵气板，且堵气板的高度由中心向外逐步增大，所述吸嘴帽表面开设有与堵气板位置及尺寸对应的双漩涡式吸气槽口，且侧壁上开设有吸气口连接抽真空设备，吸嘴帽套装在堵气块上方与吸嘴之间形成负压腔，且堵气块可沿吸嘴帽上下移动使得外围堵气板逐步卡入或脱离吸气槽口，以调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附。本发明采用双漩涡式吸气嘴分布结构，随着堵气板的伸出逐步减小吸附面大小，来适应不同尺寸的晶圆吸附。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	南通大学;南通斯迈尔精密设备有限公司
发明人：	王强;宋帅迪;陈云;顾贤
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810789649.4
公开号：	CN108861571A
代理机构：	南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249
代理人：	顾森燕
分类号：	B65G47/91(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/91
申请人地址：	226000 江苏省南通市啬园路9号
主权项：	1.一种双漩涡式晶圆吸嘴组件，其特征在于：包括堵气块以及吸嘴帽，其中堵气块上表面设有呈双漩涡式分布的堵气板，且堵气板的高度由中心向外逐步增大，所述吸嘴帽表面开设有与堵气板位置及尺寸对应的双漩涡式吸气槽口，且侧壁上开设有吸气口连接抽真空设备，吸嘴帽套装在堵气块上方与吸嘴之间形成负压腔，且堵气块可沿吸嘴帽上下移动使得外围堵气板逐步卡入或脱离吸气槽口，以调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附。
所属类别：	发明专利